紫外激光打标机的核心部件是紫外激光,在激光加工方面有其独特的优势:紫外激光波长短,可实现精细加工;在激光加工过程中,紫外激光直接破坏材料的化学键,这是一种“冷”处理过程。热影响区小。大多数材料能有效吸收紫外线,并能加工许多红外和可见光激光无法加工的材料。全固态紫外激光器具有体积小、效率高、重复频率高、无需换气、无掩模、易于维护等优点。它已被广泛应用于生物工程、材料制备、全光器件制造,特别是集成电路板、半导体等激光加工领域。
紫外激光的发展非常迅速,其固有的优势也逐渐显现出来。所有高重复频率在瓦特功率以上的固体激光器不断应用于加工领域,国内外研究机构和公司继续朝着更高功率(几十瓦特)和更高重复频率(几十甚至几百千赫)的方向发展。我们已成功研制出一种脉宽为25ns的5W、50KHz紫外355nm激光器。10W和30W原型具有稳定的性能。紫外激光打标机用于LED蓝宝石晶片裂纹的标记,标记深度可达200μm。线宽小于10μm。划痕光滑均匀,几乎没有热影响区。目前,UV 355nm激光器在国际市场上的价格约为20000美元/W,中高功率全固态UV激光器市场被国外厂商占领。主要用于冲孔、切割、打标和打标。以激光划片机为例,根据目前市场需求,传统激光划片机的销量一般为100台/年,其中60%将被UV全固态激光器取代;国内对激光打标机的年需求量约为4000台,其中所有固态紫外激光器将取代30%的市场份额。
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